全ての試験は、ラボ内もしくは、製造現場や海外の出荷先などオンサイトでも実施可能です。

EMC/FCC

(Electromagnetic Compatibility、電磁両立性)

電磁妨害(EMI:エミッション), 電磁感受性(EMS:イミュニティ)の電気機械が持つ両面の特性に関し、各国ごとに異なる要求事項(限度値)に沿って試験します。

国際規格及び欧州では、CISPR 11、CISPR 16、EN/IEC 61000-4シリーズ、EN/IEC 61000-6シリーズがあります。
米国では、通信や電波の利用を管理するFCC(Federal Communication Commission 連邦通信委員会)が発行する無線周波デバイスに対するエミッション規格、FCC Part 15、Part 18があります。

国内では、電波法に電界強度・磁界強度の要求事項があります。

電気試験

半導体製造装置や産業機械に対してはEN/IEC 60204-1や米国のNFPA 79、SEMI S22で要求されている試験です。一方、コンポーネントに対しては、IEC/EN/UL61010-1などに基づいた試験があります。別途、騒音試験も行っています。

SEMI F47

(Specification for Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity 半導体プロセス装置電圧サグ対応力のための仕様)

SEMIで規定されている電圧サグイミュニティ(電源変動)試験です。

SEMI S23

(Guide for Energy, Utility, and Material Use Efficiency of Semiconductor Manufacturing Equipment)

SEMIで制定されている半導体製造装置のユーティリティの消費効率に関するガイドラインです。実際のユーティリティ消費量を測定し、検証することが要求されています。

SEMI S6

(Environmental, Health, and Safety Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment)

SEMIに含まれる半導体製造装置の排気換気に関する環境、健康、安全のためのガイドラインです。毒性あるいは可燃性のような危険なガスや薬品を使用する装置の、通常運転時、故障時、およびメンテナンス時の安全性を評価する試験です。

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