SEMI Standards

SEMI規格は、半導体製造装置（S26はFPD製造装置）の設計に関するガイドラインです。ガイドラインではありますが、半導体製造装置業界では一般化しており、半導体製造装置を設計・製造する際は、避けては通れないスタンダードとなっています。トキワンではSEMIの各章の要求に対して、お客様の装置が適合しているかの評価、適合するためのコンサルティング、要求で必要な試験を実施可能です。

SEMI S2

環境，健康，安全に関するガイドライン

S2は、半導体製造装置の設計に関するガイドラインです。EHS（環境・健康・安全）に関する基準で、電気・化学・人間工学など、装置の特性に応じて、ほかのガイドラインの要求事項も参照しています。半導体製品の製造，測定，組立て，及びテストに使用される装置に適用されます。
サービス内容：適合評価・コンサルティング

SEMI S8

人間工学エンジニアリングの安全ガイドライン

S8は、半導体製造装置の人間工学エンジニアリングに対する安全ガイドラインです。装置が人間工学の設計に基づいて設計されているかの原則と考慮すべき要求事項を規定しています。半導体製造装置の設計，操作，保守，サービス，および限定された範囲での装置据付に適用されます。
サービス内容：適合評価・コンサルティング　

SEMI S6

排気換気に関する環境，健康，安全のガイドライン

S6は、化学薬品や溶剤を用いる装置の排気換気に関する評価方法が記載されています。内部漏洩した化学物質の排気性能に関する評価を行うトレーサーガス試験に加えて、引火性の化学物質を用いる場合は非引火性雰囲気立証試験、作業者への化学物質の被爆量を評価するCIH試験があります。
サービス内容：適合評価・コンサルティング、化学系試験（トレーサーガス試験、CIH試験、非引火性試験）

SEMI S22

電気設計のための安全に関するガイドライン

S22は、半導体製造装置の設計における電気的安全に関する考慮事項をが記載されています。電気的安全インターロックおよび電気的な危険に対して保護する非電気的インターロックの設計上の考慮事項について記載されています。装置が特に除外されていない限り，半導体製品を製造，測定，組み立て，テストするために使用されるすべての装置の電気設計に適用されます。
サービス内容：電気試験

SEMI S23

エネルギー効率に関するガイドライン

S23は、装置の環境配慮を想定した、エネルギー消費量削減およびエネルギー効率の設計基準と、その評価方法が記載されています。S23は、2016年に大改訂され、エネルギー削減からエネルギー効率向上へと重点が変わりました。
サービス内容：評価試験

SEMI S26

FPD製造装置の環境，健康，安全に関するガイドライン

S26は、FPD製造装置の設計に関するガイドラインです。その要求事項は、EHS（環境・健康・安全）上で実現すべき基準です。電気、化学、人間工学など、装置の特性に応じて、ほかのガイドラインの要求事項も参照します。
サービス内容：評価試験・コンサルティング

SEMI E33

電磁適合性に関するガイドライン

E33は、電磁適合性に関する設計基準と、その確認方法として、評価・試験方法が記載されています。
サービス内容：評価試験

SEMI E78

静電気放電（ESD）と静電気吸着（ESA）の評価と管理へのガイド

E78は、静電気の帯電に関する設計基準と、その確認方法として、評価・試験方法が記載されています。
サービス内容：評価試験

SEMI F47

半導体プロセス装置電圧サグ対応力のための仕様

F47は工場の電源電圧が不安定な際に、装置が異常な動作をしないか、その評価・試験方法が記載されています。試験は、指定の値で入力電圧を降下させ、装置の通常運転状態が停止することなく、保持されるかを確認します。
サービス内容：評価試験

その他

客先安全仕様対応

北米・韓国・台湾などの大手半導体・FPD製造メーカーは、独自の共通安全仕様が存在します。 SEMIの要求内容に追加して、その共通安全仕様に対する適合評価・試験を実施し、必要に応じて大手半導体・FPD製造メーカーが認定する第三者認証機関の認証を取得します。
サービス内容：客先安全仕様対応

SEMI Guideline
　
半導体・FPD製造業界の製造装置システムに対する安全ガイドライン